RF SPUTTERING OF MULTILAYER THIN FILMS

被引：5

作者：

HERTE, L

LANG, A

MYERS, DO

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1969年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492637

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：109 / &

相关论文

共 6 条

[1]

DAVIDSE PD, 1966, J APPL PHYS, V37, P571

[2]

GERSTENBERG D, 1967, NATL VAC S AMERICAN, P10

[3]

GERSTENBERG D, 1967, NATL VAC S AMERICAN, P9

LAEGREID, N ;

WEHNER, GK .

[5]

MAISSEL LI, 1967, NATL VAC S AMERICAN, P7

[6]

MAISSEL LI, 1967, NATL VAC S AMERICAN, P8