SPUTTERING YIELDS OF METALS FOR AR+ AND NE+ IONS WITH ENERGIES FROM 50 TO 600 EV

被引:716
作者
LAEGREID, N
WEHNER, GK
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1736012
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:365 / &
相关论文
共 12 条