CONTROLLED SPUTTERING OF METALS BY LOW-ENERGY HG IONS

被引:243
作者
WEHNER, GK
机构
来源
PHYSICAL REVIEW | 1956年 / 102卷 / 03期
关键词
D O I
10.1103/PhysRev.102.690
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
收藏
页码:690 / 704
页数:15
相关论文
共 28 条