MEASUREMENT OF VELOCITY DISTRIBUTIONS OF SPUTTERED CARBON-ATOMS USING LASER-INDUCED FLUORESCENCE IN THE VACUUM UV

被引:27
作者
BOGEN, P [1 ]
DOBELE, HF [1 ]
MERTENS, P [1 ]
机构
[1] UNIV ESSEN GESAMTHSCH, FACHBEREICH PHYS, D-4300 ESSEN 1, FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0022-3115(87)90376-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页数:4
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