PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF SILICON DIFFUSED LAYERS

被引:257
作者
TUFTE, ON
STELZER, EL
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1702605
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:313 / &
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