A MINIMUM STEP FABRICATION PROCESS FOR THE ALL-SILICON CHANNELING MASK

被引:6
作者
ATKINSON, GM
BARTELT, JL
MIDDLETON, PL
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.583869
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:219 / 222
页数:4
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共 3 条
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