A MINIMUM STEP FABRICATION PROCESS FOR THE ALL-SILICON CHANNELING MASK

被引：6

作者：

ATKINSON, GM

BARTELT, JL

MIDDLETON, PL

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583869

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：219 / 222

页数：4

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共 3 条

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