共 3 条
- [1] MATTA RK, 1965, 1965 P EL SOC SPRING, P32
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- [3] HIGH-RESOLUTION PATTERN REPLICATION USING SOFT X-RAYS[J]. ELECTRONICS LETTERS, 1972, 8 (04) : 102 - &SPEARS, DLSMITH, HI
VERY STEEP PROFILE RESIST PATTERN PREPARATION BY REACTIVE ION ETCHING WITH AR+CH4 GAS-MIXTURE
被引：2
作者：
WATANABE, I
YOSHIHARA, H
SAITOH, Y
MATSUO, S
机构：
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.20.L804
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L804 / L806
页数：3
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