THE PROCESSING AND USE OF ORGANO-SILICON POLYMERS FOR PHOTONIC APPLICATIONS

被引：4

作者：

BAGLEY, BG ^{[1
]}

QUINN, WE ^{[1
]}

KURKJIAN, CR ^{[1
]}

机构：

[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/pen.760291711

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

页码：1197 / 1199

页数：3

共 6 条

BAGLEY, BG ;

QUINN, WE ;

MOGAB, CJ ;

VASILE, MJ .

[2]

BAGLEY BG, 1987, MAT RES S S P PITTSB, V88, P35

[3]

BAGLEY BG, UNPUB J MATER RES

[4]

BAGLEY BG, 1984, BETTER CERAMICS CHEM, P287

[5] O-2 PLASMA-CONVERTED SPIN-ON-GLASS FOR PLANARIZATION [J].

BUTHERUS, AD ;

HOU, TW ;

MOGAB, CJ ;

SCHONHORN, H .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 1985, 3 (05) :1352-1356

[6]

CROSBY WH, COMMUNICATION