O-2 PLASMA-CONVERTED SPIN-ON-GLASS FOR PLANARIZATION

被引：17

作者：

BUTHERUS, AD

HOU, TW

MOGAB, CJ

SCHONHORN, H

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1985年 / 3卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.582992

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1352 / 1356

页数：5

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共 2 条

[1]

ARKLES B, 1983, CHEMTECH SEP, P543

[2] ION MILLING PLANARIZATION FOR MAGNETIC-BUBBLE DEVICES [J].

HOU, TW ;

MOGAB, CJ ;

WAGNER, RS .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1983, 1 (04) :1801-1805