ELECTROMIGRATION DAMAGE IN THIN FILMS DUE TO GRAIN BOUNDARY GROOVING PROCESSES

被引:40
作者
OHRING, M
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1660603
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2653 / &
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