A MECHANISTIC STUDY OF SF6 REACTIVE ION ETCHING OF TUNGSTEN

被引：31

作者：

TURBAN, G

COULON, JF

MUTSUKURA, N

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1989年 / 176卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(89)90102-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：289 / 308

页数：20

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