AEROSOL JET ETCHING OF FINE PATTERNS

被引：14

作者：

CHEN, YL

BROCK, JR

TRACHTENBERG, I

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.98940

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：2203 / 2205

页数：3

共 7 条

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