THE ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF WHOLE WAFER SILICON ON SAPPHIRE FOR PROCESS-CONTROL

被引：5

作者：

MCLEOD, D

SHIELDS, DA

MAURITS, JEA

FORBES, DH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.576279

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1322 / 1328

页数：7

共 8 条

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