IMPROVEMENT IN THE RELIABILITY OF HOT-CATHODE IONIZATION TUBE CALIBRATION BY THE USE OF BENCHMARK TUBES

被引:1
作者
VANDERSCHMIDT, GF
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1992年 / 10卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.577789
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:3588 / 3589
页数:2
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共 2 条
[1]   SENSITIVITY OF HOT CATHODE IONIZATION GAUGES [J].
TILFORD, CR .
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1985, 3 (03) :546-550
[2]  
WOOD SD, 1985, J VAC SCI TECHNOL A, V3, P543