PLATINUM SILICIDE SCHOTTKY-BARRIER IR-CCD IMAGE SENSORS

被引:21
作者
KIMATA, M [1 ]
DENDA, M [1 ]
FUKUMOTO, T [1 ]
TSUBOUCHI, N [1 ]
UEMATSU, S [1 ]
SHIBATA, H [1 ]
HIGUCHI, T [1 ]
SAHEKI, T [1 ]
TSUNODA, R [1 ]
KANNO, T [1 ]
机构
[1] JAPAN DEF AGCY,INST TECH RES & DEV,MEGURO KU,TOKYO 153,JAPAN
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.21S1.231
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:231 / 235
页数:5
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