DIE HERSTELLUNG DUNNER SILIZIUM-EINKRISTALLSCHICHTEN DURCH KATHODENZERSTAUBUNG

被引：13

作者：

HIETEL, B

MEYERHOFF, K

机构：

来源：

ZEITSCHRIFT FUR PHYSIK | 1961年 / 165卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1007/BF01378084

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：47 / &

共 5 条

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