MEASUREMENT OF VAPOR-PRESSURES AND BACKSTREAMING WITH A MASS-SPECTROMETER CALIBRATED AGAINST A QUARTZ CRYSTAL THICKNESS MONITOR

被引：5

作者：

RETTINGH.G

HUBER, WK

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1316638

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：416 / &

共 7 条

[1]

DORING G, 1966, VAKUUMTECHNIK, V15, P245

[2]

DUSHMAN S, 1962, SCI FDN VACUUM TECHN, P18

[3] BACKSTREAMING FROM CRYOGENIC TRAPS [J].

HABLANIAN, MH ;

HERRICK, RF .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1971, 8 (01) :317-+

[4]

HICKMAN KCD, 1961, 8 T AVS S WASH

HOLLAND, L .

[6]

LANGDON WM, 1966, IITRIC603010 NASA RE

[7]

SANGER G, 1971, BELVAC DAGV S LIEGE