CO2-LASER-INDUCED SURFACE-REACTION OF CDF3 ON SIO2

被引:2
作者
KAWAI, M
TSUBOI, Y
TANAKA, K
TERATANI, S
TAYA, K
机构
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(89)90128-3
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:354 / 363
页数:10
相关论文
共 9 条