STUDY ON RESOLUTION OF BACKSCATTERED ELECTRON IMAGE BY MONTE CARLO METHOD

被引:17
作者
MURATA, K
MATSUKAWA, T
SHIMIZU, R
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.10.1290
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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