THE EFFECTS OF INCIDENT ANGLE ON C-AXIS ORIENTATION IN SPUTTERED CO-CR FILMS

被引：3

作者：

NIIMURA, Y ^{[1
]}

NAKAGAWA, S ^{[1
]}

NAOE, M ^{[1
]}

机构：

[1] TOKYO INST TECHNOL,FAC ENGN,DEPT ELECT & ELECTR ENGN,MEGURO KU,TOKYO 152,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TMAG.1987.1065609

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：2043 / 2045

页数：3