KINETICS OF HYDROGEN ADSORPTION AND ABSORPTION - CATALYTIC GATE MIS GAS SENSORS ON SILICON

被引:23
作者
HUGHES, RC
TAYLOR, PA
RICCO, AJ
RYE, RR
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2097536
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:2653 / 2661
页数:9
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共 21 条
  • [21] Wicke E., 1978, HYDROGEN METALS, P73