APPLICATION OF LOW-ANGLE RUTHERFORD BACKSCATTERING AND CHANNELING TECHNIQUES TO DETERMINE IMPLANTATION INDUCED DISORDER PROFILE DISTRIBUTIONS IN SEMICONDUCTORS

被引:24
作者
AHMED, NAG
CHRISTODOULIDES, CE
CARTER, G
NOBES, MJ
TITOV, AI
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1980年 / 168卷 / 1-3期
关键词
D O I
10.1016/0029-554X(80)91266-5
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页数:6
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