HIGH-RESOLUTION TECHNOLOGY FOR SILICON-INTEGRATED SURFACE ACOUSTIC-WAVE DEVICES

被引:1
作者
BLOK, BM [1 ]
VISSER, JH [1 ]
VANDERDRIFT, E [1 ]
ROMIJN, J [1 ]
VENEMA, A [1 ]
机构
[1] DELFT UNIV TECHNOL,FAC ELECT ENGN,DELFT,NETHERLANDS
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.584646
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:2048 / 2052
页数:5
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