AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY DETERMINATION OF OXYGEN-SILICON RATIO IN SPIN-ON GLASS-FILMS

被引：10

作者：

SMITH, JN ^{[1
]}

THOMAS, S ^{[1
]}

RITCHIE, K ^{[1
]}

机构：

[1] MOTOROLA INC,MAT RES LAB,SEMICOND DIV,PHOENIX,AZ 85008

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1974年 / 121卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2401928

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：827 / 829

页数：3

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共 5 条

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RITCHIE K, TO BE PUBLISHED