3 TO 15 KEV AR+ INDUCED AUGER-ELECTRON EMISSION FROM SI AND AR

被引:27
作者
KEMPF, J [1 ]
KAUS, G [1 ]
机构
[1] IBM GERMANY,D-7000 STUTTGART 80,FED REP GER
来源
APPLIED PHYSICS | 1977年 / 13卷 / 03期
关键词
D O I
10.1007/BF00882890
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:6
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