ETHYLENE DIAMINE-CATECHOL-WATER MIXTURE SHOWS PREFERENTIAL ETCHING OF P-N JUNCTION

被引：44

作者：

GREENWOOD, JC

机构：

[1] Standard Telecommunication Laboratories, Harlow, Essex

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1969年 / 116卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2412316

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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页码：1325 / +

页数：1

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共 1 条

[1] A WATER-AMINE-COMPLEXING AGENT SYSTEM FOR ETCHING SILICON [J].

FINNE, RM ;

KLEIN, DL .

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1967, 114 (09) :965-&