MICROMACHINED PACKAGING FOR CHEMICAL MICROSENSORS

被引:44
作者
SMITH, RL
COLLINS, SD
机构
关键词
D O I
10.1109/16.2532
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:787 / 792
页数:6
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