SUBSTRATE DAMAGE IN FILM THICKNESS MEASUREMENT BY BEAM INTERFEROMETRY

被引：4

作者：

SCOTT, GD

机构：

来源：

NATURE | 1959年 / 184卷 / 4683期

关键词：

D O I：

10.1038/184354b0

中图分类号：

O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];

学科分类号：

07 ; 0710 ; 09 ;

摘要：

引用

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页码：354 / 355

页数：2

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共 3 条

[1] OBTAINING LOW ORDERS OF INTERFERENCE IN MEASURING FILM THICKNESSES BY MULTIPLE BEAM INTERFEROMETRY [J].

SCOTT, GD .

JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA, 1958, 48 (11) :858-858

[2] THE THICKNESS MEASUREMENT OF THIN FILMS BY MULTIPLE BEAM INTERFEROMETRY [J].

SCOTT, GD ;

MCLAUCHLAN, TA ;

SENNETT, RS .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1950, 21 (09) :843-846

[3] ERRORS IN THE MEASUREMENT OF FILM THICKNESS BY MULTIPLE-BEAM INTERFEROMETRY [J].

WEAVER, C ;

BENJAMIN, P .

NATURE, 1958, 182 (4643) :1149-1150