A DIELECTRICALLY ISOLATED PHOTODIODE ARRAY BY SILICON-WAFER DIRECT BONDING

被引：20

作者：

OHURA, J

TSUKAKOSHI, T

FUKUDA, K

SHIMBO, M

OHASHI, H

机构：

来源：

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS | 1987年 / 8卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1987.26692

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：454 / 456

页数：3

相关论文

共 12 条

[11] SHIMBO M, 1986, ECS EXT ABSTR, V86, P332
[12] TSAUR BY, 1986, IEEE ELECTR DEVICE L, V7, P443, DOI 10.1109/EDL.1986.26430