DYNAMICS OF CO2-LASER HEATING IN THE PROCESSING OF SILICON

被引：15

作者：

SIREGAR, MRT

LUTHY, W

AFFOLTER, K

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.91334

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：787 / 788

页数：2

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共 14 条

[11]

SZE SM, 1969, PHYSICS SEMICONDUCTO, P43

[12] METASTABLE PHASES IN LASER-IRRADIATED PT-SI AND PD-SI THIN-FILMS [J].

VONALLMEN, M ;

LAU, SS ;

MAENPAA, M ;

TSAUR, BY .

[13]

VONALLMEN M, 1979, LASER SOLID INTERACT, V50

[14]

WOLFE WL, 1978, INFRARED HDB, P7