Picometric profilometry .2. Multi detector approach and multiplexed lock-in detection

被引：40

作者：

Gleyzes, P

Guernet, F

Boccara, AC

机构：

[1] Lab. d'Opt. Phys., CNRS, Paris

来源：

JOURNAL OF OPTICS-NOUVELLE REVUE D OPTIQUE | 1995年 / 26卷 / 06期

关键词：

Nomarski microscope; parallel signal processing; surface topography;

D O I：

10.1088/0150-536X/26/6/003

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

In a first paper [1] we described a surface profilometer using a single detector and a sample scanning procedure. We have developped a multidetector version of this setup using a CCD linear array (256 pixels) and an original multiplexed lockin detection procedure.

引用

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