MASS-SPECTROMETRIC AND THERMODYNAMIC STUDIES OF CVD OF SOME III-V COMPOUNDS

被引：73

作者：

BAN, VS

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(72)90227-8

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：19 / &

共 24 条

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