STEPPED ELECTRODE TRANSISTOR - SET

被引:11
作者
SAKAI, T [1 ]
SUNOHARA, Y [1 ]
SAKAKIBARA, Y [1 ]
MUROTA, J [1 ]
机构
[1] NIPPON TELEGRAPH & TEL PUBL CORP,MUSASHINO ELECT COMMUN LAB,MUSASHINO,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.16S1.43
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:43 / 46
页数:4
相关论文
共 1 条
[1]   ETCH RATE CHARACTERIZATION OF BORON-IMPLANTED THERMALLY GROWN SIO2 [J].
SCHWETTM.FN ;
DEXTER, RJ ;
COLE, DF .
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1973, 120 (11) :1566-1570