ORIGIN AND PREVENTION OF HIGH CONTACT RESISTANCE IN MULTILEVEL METAL-POLYIMIDE STRUCTURES

被引：6

作者：

DAY, DR ^{[1
]}

SENTURIA, SD ^{[1
]}

机构：

[1] MIT,CTR MAT SCI & ENGN,CAMBRIDGE,MA 02139

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF02654682

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：441 / 452

页数：12

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共 5 条

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