CONDUCTION PROCESSES IN SILICON NITRIDE

被引：34

作者：

KENDALL, EJM

机构：

来源：

CANADIAN JOURNAL OF PHYSICS | 1968年 / 46卷 / 22期

关键词：

D O I：

10.1139/p68-611

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

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页码：2509 / &

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共 21 条

[21] CONDUCTION PROPERTIES OF PYROLYTIC SILICON NITRIDE FILMS [J].

YEARGAN, JR ;

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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1968, 115 (03) :273-&