DIRECT-WRITE METALLIZATION OF SILICON MOSFETS USING LASER PHOTODEPOSITION

被引：24

作者：

TSAO, JY

EHRLICH, DJ

SILVERSMITH, DJ

MOUNTAIN, RW

机构：

来源：

ELECTRON DEVICE LETTERS | 1982年 / 3卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1982.25523

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：164 / 166

页数：3

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共 3 条

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