FINE STRUCTURES AND ENERGY-DISTRIBUTION OF SECONDARY ELECTRON EMISSION FROM SI(111)

被引:9
作者
GOTO, K [1 ]
ISHIKAWA, K [1 ]
机构
[1] NAGOYA INST TECHNOL, DEPT FINE MEASUREMENTS, SHOWA, NAGOYA, JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.1661847
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:132 / 137
页数:6
相关论文
共 38 条