LOW-TEMPERATURE GROWTH OF PIEZOELECTRIC AIN FILM BY RF REACTIVE PLANAR MAGNETRON SPUTTERING

被引：149

作者：

SHIOSAKI, T

YAMAMOTO, T

ODA, T

KAWABATA, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.91610

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：643 / 645

页数：3

共 5 条

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