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THE INTERACTION OF LOW-ENERGY ION-BEAMS WITH SURFACES
被引:72
作者
:
CARTER, G
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0
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0
CARTER, G
ARMOUR, DG
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ARMOUR, DG
机构
:
来源
:
THIN SOLID FILMS
|
1981年
/ 80卷
/ 1-3期
关键词
:
D O I
:
10.1016/0040-6090(81)90202-9
中图分类号
:
T [工业技术];
学科分类号
:
08 ;
摘要
:
引用
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页数:18
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[41]
SPUTTERING OF CHEMISORBED GAS (NITROGEN ON TUNGSTEN) BY LOW-ENERGY IONS
WINTERS, HF
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0
机构:
IBM CORP,RES LAB,SAN JOSE,CA 95193
IBM CORP,RES LAB,SAN JOSE,CA 95193
WINTERS, HF
SIGMUND, P
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机构:
IBM CORP,RES LAB,SAN JOSE,CA 95193
IBM CORP,RES LAB,SAN JOSE,CA 95193
SIGMUND, P
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1974,
45
(11)
: 4760
-
4766
[42]
YAMAMURA Y, UNPUBLISHED
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SIGMUND, P
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SIGMUND, P
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1974,
45
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