INFLUENCE OF REACTION KINETICS OF O2 AND SOURCE FLOW RATES ON UNIFORMITY OF BORON AND ARSENIC DIFFUSIONS

被引：19

作者：

PAREKH, PC

GOLDSTEIN, DR

CHAN, TC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(71)90070-0

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：281 / +

页数：1

共 6 条

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