THERMALLY EXCITED RESONATING MEMBRANE MASS-FLOW SENSOR

被引:23
作者
BOUWSTRA, S
KEMNA, P
LEGTENBERG, R
机构
来源
SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 03期
关键词
D O I
10.1016/0250-6874(89)80119-2
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:213 / 223
页数:11
相关论文
共 21 条
  • [21] 1984, JST NEWS, V3, P31