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THERMALLY EXCITED RESONATING MEMBRANE MASS-FLOW SENSOR
被引:23
作者
:
BOUWSTRA, S
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BOUWSTRA, S
KEMNA, P
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KEMNA, P
LEGTENBERG, R
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LEGTENBERG, R
机构
:
来源
:
SENSORS AND ACTUATORS
|
1989年
/ 20卷
/ 03期
关键词
:
D O I
:
10.1016/0250-6874(89)80119-2
中图分类号
:
O65 [分析化学];
学科分类号
:
070302 ;
081704 ;
摘要
:
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1984, JST NEWS, V3, P31
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