THE EFFECT OF DOPING ON THE FORMATION OF SWIRL DEFECTS IN DISLOCATION-FREE CZOCHRALSKI-GROWN SILICON-CRYSTALS

被引:104
作者
DEKOCK, AJR
VANDEWIJGERT, WM
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(80)90299-7
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页数:17
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