PROTRUSION FORMATION ON METAL TARGETS DURING CO-SPUTTERING

被引：12

作者：

OOHASHI, T

YAMANAKA, S

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1972年 / 11卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.11.1581

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1581 / &

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