PROTRUSION FORMATION ON METAL TARGETS DURING CO-SPUTTERING

被引:12
作者
OOHASHI, T
YAMANAKA, S
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.11.1581
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1581 / &
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