共 2 条
PROTRUSION FORMATION ON METAL TARGETS DURING CO-SPUTTERING
被引:12
作者:
OOHASHI, T
YAMANAKA, S
机构:
关键词:
D O I:
10.1143/JJAP.11.1581
中图分类号:
O59 [应用物理学];
学科分类号:
摘要:
引用
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页码:1581 / &
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