NEW ION IMPLANT TECHNIQUE FOR LOW-COST SOLAR-CELL FABRICATION

被引：4

作者：

TOKIGUCHI, K

ITOH, H

SAKUDO, N

KOIKE, H

KANOMATA, I

TOKUYAMA, T

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1981年 / 52卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1136721

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：1110 / 1111

页数：2

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共 4 条

[1]

Goldman H., 1980, Fourteenth IEEE Photovoltaic Specialists Conference 1980, P923

[2]

ITOH H, UNPUBLISHED

[3] MICROWAVE ION-SOURCE [J].

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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1977, 48 (07) :762-766

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