PRECISION MOLECULAR-FLOW MEASUREMENT AND CONTROL FOR SINGLE AND MULTIGAS SYSTEMS

被引：8

作者：

KIESLING, RA

SULLIVAN, JJ

SANTELER, DJ

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.569511

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：771 / 774

页数：4

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共 4 条

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