ION AND ELECTRON-ENERGY ANALYSIS AT A SURFACE IN AN RF DISCHARGE

被引:120
作者
INGRAM, SG [1 ]
BRAITHWAITE, NSJ [1 ]
机构
[1] OPEN UNIV,MAT DISCIPLINE,MILTON KEYNES MK7 6AA,BUCKS,ENGLAND
关键词
Collisional Scattering - Ion Velocity Distribution - Plasma Etching - RF Discharge;
D O I
10.1088/0022-3727/21/10/005
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1496 / 1503
页数:8
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