UHV CHAMBER FOR METAL-SEMICONDUCTOR AND METAL-METAL THIN-FILM STUDIES

被引：4

作者：

CRIDER, CA ^{[1
]}

POATE, JM ^{[1
]}

ROWE, JE ^{[1
]}

WHEATLEY, GH ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1978年 / 149卷 / 1-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(78)90955-2

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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