CHEMICAL STRUCTURES OF NATIVE OXIDES FORMED DURING WET CHEMICAL TREATMENTS

被引：52

作者：

HATTORI, T ^{[1
]}

TAKASE, K ^{[1
]}

YAMAGISHI, H ^{[1
]}

SUGINO, R ^{[1
]}

NARA, Y ^{[1
]}

ITO, T ^{[1
]}

机构：

[1] FUJITSU LABS LTD,ATSUGI 24301,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS | 1989年 / 28卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.28.L296

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L296 / L298

页数：3