SEMICONDUCTOR SURFACE ELECTROSTATICS

被引:16
作者
GREENE, RF
BIXLER, D
LEE, RN
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1971年 / 8卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.1316360
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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