A NEW ETCHANT FOR THIN FILMS OF TANTALUM AND TANTALUM COMPOUNDS

被引：4

作者：

GROSSMAN, J

HERMAN, DS

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1969年 / 116卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2412013

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

收藏

页码：674 / &

相关论文

共 3 条

[1] TANTALUM-FILM TECHNOLOGY
MCLEAN, DA
SCHWARTZ, N
TIDD, ED
[J]. PROCEEDINGS OF THE IEEE, 1964, 52 (12) : 1450 - &
[2] MCLEAN DA, 1966, BELL LAB REC, V44, P304
[3] WALKER MJ, 1966, IEEE T ELECTRON DEVI, VED13, P471